[发明专利]圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶有效
| 申请号： | 202010075993.4 | 申请日： | 2017-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN111074218B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 白石瑞树;菅原琢人;西冈宏司;藤田昌宏 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;G01B5/28;G01B21/30;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 牛蔚然;焦成美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶。本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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