[发明专利]气体感测装置及气体浓度感测方法在审
申请号: | 202010076241.X | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN113008943A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 林佑颖;罗英哲;许仲毅;苏柏仁 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种气体感测装置及气体浓度感测方法,其中该气体感测装置适用于感测一待测气体中一目标气体的浓度,此气体感测装置包括介电层、参考感材部、目标感材部及控制器。介电层设置于一表面上,参考感材部及目标感材部设置于介电层的承载侧,且承载侧背向此表面。参考感材部包含第一导电层及对目标气体敏感度低的第一感测层。目标感材部包含第二导电层及对目标气体敏感度高的第二感测层。控制器取得第一及第二导电层的导抗值并依据导抗值及一关系函数计算目标气体的浓度值。 | ||
搜索关键词: | 气体 装置 浓度 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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