[发明专利]用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法有效
| 申请号： | 202010077410.1 | 申请日： | 2020-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111261475B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 孙建宁;侯巍;司曙光;苏德坦;金睦淳;王兴超;王丛杰;王亮;顾莹;周帆 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/48 | 分类号： | H01J9/48;H01J43/04 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法，包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明的一体式多功能排气装置，能够使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 光电倍增管 体式 多功能 排气装置 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方夜视技术股份有限公司，未经北方夜视技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010077410.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多模态事件检测方法及装置
- 下一篇：一种建筑机械用小型混凝土铣刨机
