[发明专利]具有双倾功能的透射电镜原位样品杆有效
申请号: | 202010077755.7 | 申请日: | 2020-01-31 |
公开(公告)号: | CN111261480B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 聂安民;张奕志;王宏涛;田永君 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,包括杆身,设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器;纳米驱动器头端安装倾转台,倾转台具有与纳米驱动器固定的基座,基座上设有弹簧片和动子,动子预紧于弹簧片与基座之间,动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触,动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件,基座和动子之间设有第二压电驱动件;基座上设有圆弧导轨,动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件,动子上设有样品安装部位。本发明具有兼具原位测试功能和双轴倾转功能的优点。 | ||
搜索关键词: | 具有 功能 透射 原位 样品 | ||
【主权项】:
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