[发明专利]一种单晶炉尾气连续在线回收装置及方法

摘要

本发明涉及一种单晶炉尾气连续在线回收装置及方法，C组设备包括预加热器、预催化反应器和预冷却器串联在一起的设备组；A组设备包括由加热器A、催化反应器A和冷却器A1串联在一起的设备组，还包括由反应器A和冷却器A2串联在一起的设备组；B组设备包括由加热器B、催化反应器B和冷却器B1串联在一起的设备组，还包括由反应器B和冷却器B2串联在一起的设备组；单晶炉尾气首先经尾气入口进入C组设备进行预脱氧，然后按工作和再生的步骤交替进入A组和B组设备，A组设备和B组设备分别处于一组工作过程一组再生过程，两种过程循环交替进行，以实现单晶炉尾气的连续回收。本发明稳定并且可靠。