[发明专利]一种微结构模具超声空化辅助超声磁力抛光方法

摘要

本发明公开一种双超声辅助磁力抛光微结构模具的装置和方法，通过单独设置产生超声空化效应的超声振动装置，能够保证抛光区域产生充分的超声空化现象，增大抛光压力，同时，由于微结构模具完全浸没在抛光液中，抛光液中的纳米SiO2颗粒对模具材料也有一定抛光作用，利于模具材料的去除，提高抛光表面质量。此外，不同于现有技术中机床超声主轴垂直于待抛光工件的表面，本发明中的机床超声主轴平行于微结构模具的待抛光表面设置，通过环形永磁体的圆周面进行抛光加工，整个抛光加工区域的切向线速度从中心到边缘是一致的，因此增大了抛光加工速度，提高了加工效率。