[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010078352.4 申请日: 2020-02-03
公开(公告)号: CN111697076A 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 星保幸 申请(专利权)人: 富士电机株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张欣;金玉兰
地址: 日本神奈*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供能提高寄生二极管的反向恢复耐量的半导体装置。在有源区(1)的有效区(1a)设置有作为垂直型MOSFET的主半导体元件(11)和该主半导体元件的源极焊盘(21a)。在有源区的无效区(1b)中的半导体基板(10)的正面设置主半导体元件的栅极焊盘(21b)。在栅极焊盘的正下方的半导体基板(10)的正面的表面区域,遍及有源区的无效区(1b)的整个区域设置有p型区域(34b)。有源区的无效区(1b)的p型区域(34b)与源极焊盘(21a)电连接,在主半导体元件关断时由与n型漂移区(32)的pn结形成寄生二极管。有源区的无效区(1b)的p型区域(34b)具有角部(81)被倒角的矩形的平面形状。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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