[发明专利]双端口MEMS硅流量控制阀在审
| 申请号： | 202010078707.X | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111486270A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | E.N.富勒;P.阿鲁纳萨兰;C.杨;J.A.奥杰达 | 申请（专利权）人： | 盾安美斯泰克股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K99/00 | 分类号： | F16K99/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王增强 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微型阀包括第一板，该第一板具有限定致动器腔的表面。第二板具有一表面，该第二板的表面邻接第一板的表面，并且包括设置在致动器腔内的可移位构件，用于在关闭位置和打开位置之间移动，在关闭位置，可移位构件防止通过微型阀的流体连通，在打开位置，可移位构件不防止通过微型阀的流体连通。致动器连接到可移位构件。可移位构件包括密封部分，该密封部分具有从其一端向内延伸的多个细长控制臂，其中控制臂被配置为用于第一板中的多个流体流动开口中的每个的阀关闭构件。 | ||
| 搜索关键词： | 端口 mems 流量 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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