[发明专利]立式基板湿制程装置在审
| 申请号： | 202010078719.2 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN113207233A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 丁鸿泰 | 申请（专利权）人： | 睿明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;孙荀 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种立式基板湿制程装置，其中湿制程装置至少包含：蚀刻段、至少两组风刀单元以及一传送组件，蚀刻段具有一蚀刻槽体以供容置蚀刻药液，蚀刻槽体两相对侧面分别形成一入口及一出口，至少两组风刀单元分别设于入口与出口，可供产生一风墙以阻挡蚀刻槽的蚀刻药液从入口和出口流出，并利用传送组件以立式于蚀刻段移送至少一基板，可克服水池效应，从而提高蚀刻均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 基板湿制程 装置 | ||
【主权项】：
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