[发明专利]柔性阻变存储器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010079945.2 申请日: 2020-02-04
公开(公告)号: CN111276601A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 裴艳丽;王新中 申请(专利权)人: 深圳信息职业技术学院
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 黄志云
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于存储器技术领域,具体涉及一种柔性阻变存储器及其制备方法。本发明柔性阻变存储器包括:柔性基材;第一电极,其设置在柔性基材上;阻变介质层,其设置在第一电极上;以及第二电极,其设置在阻变介质层上。本发明以氧空位形成能较低的AlxIn2‑xO3作为阻变介质层,具有稳定的电阻转变性能,使所得的柔性阻变存储器具有稳定的数据存储性能和良好的电学特性。另外,本发明柔性阻变存储器可在低温条件下制备得到,避免高温退火对柔性基材造成不可逆的损伤,可促进柔性电子器件的发展,具有良好的应用前景。
搜索关键词: 柔性 存储器 及其 制备 方法
【主权项】:
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