[发明专利]一种利用飞秒激光进行纳米精度制备的方法有效
| 申请号： | 202010082068.4 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111168232B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;李臻赜;陈岐岱 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用飞秒激光进行纳米精度制备的方法，属于激光加工技术领域，本发明利用飞秒激光多光子激发形成的初始损伤纳米孔作为种子结构并实时调控后续激光脉冲的能量和偏振态，使得种子结构附近产生均一、定向的光学近场增强最终实现加工材料的高精度去除。得益于近场光斑能量在空间中的高度局域化，我们利用800nm波长的飞秒激光脉冲实现了最细18nm线宽的加工精度，分辨率达波长的1/40。本发明利用飞秒激光进行纳米精度制备的方法不需要真空环境，具有良好的大气/溶液加工兼容性。且可通过并行沉积种子结构和光栅扫描相结合进行大面积周期微纳结构的快速印刷，能有效降低器件的制造成本，更适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 进行 纳米 精度 制备 方法 | ||
【主权项】：
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