[发明专利]缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法在审
| 申请号： | 202010082579.6 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111534789A8 | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李裕进;张泽龙 | 申请（专利权）人： | 悟劳茂材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法。根据本发明的缩减掩模单元片材部的变形量的方法，该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量，所述框架一体型掩模包括形成有多个掩模图案的多个掩模和具有多个掩模单元区域且边缘框架部上连接有掩模单元片材部的框架，其特征在于，将掩模单元片材部连接至边缘框架部上时施加在掩模单元片材部的拉伸力大于将掩模附着在掩模单元区域时施加在掩模的拉伸力。 | ||
| 搜索关键词： | 缩减 单元 片材部 变形 方法 框架 体型 及其 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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