[发明专利]基于二维材料的生物化学传感模块的制备方法有效
| 申请号： | 202010083085.X | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111293091B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陆叶;包文中 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L23/31 | 分类号： | H01L23/31;H01L23/492;G01N27/327 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于生物化学传感技术领域，具体为一种基于二维材料的生物化学传感模块的制备方法。本发明方法包括：在硅/二氧化硅衬底上沉积二维材料；制备与二维材料连接或者不连接的金属电极；二维材料和金属电极周边封装树脂材料；以及硅片下面附着印刷线路板。二维材料作为一种外界敏感材料，适用于多种传感领域，特别是作为气态或者液态的感应器或探测器。本发明解决了制造基于二维材料的生物化学传感芯片模块的问题，可以广泛的应用于生物化学感应和测量应用中。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 二维 材料 生物化学 传感 模块 制备 方法 | ||
【主权项】：
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