[发明专利]用于飞行时间质量分析器调试的可调狭缝装置有效

专利信息
申请号: 202010083094.9 申请日: 2020-02-08
公开(公告)号: CN111276386B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 朱晨鑫;宫天琪;刘凯;杨芃原 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/40
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于飞行时间质量分析器技术领域,具体为用于飞行时间质量分析器调试的可调狭缝装置。本可调狭缝装置由狭缝、狭缝安装座、轴承、轴承压盖、旋杆、推杆、密封筒、微分头、密封座挤压盖、碗形密封圈以及必要的螺钉配合连接组成;旋杆通过轴承与压盖链接,使轴承和旋杆进行周向旋转运动;推杆与密封筒之间的缝隙由碗形密封圈实现真空密封,实现推杆进行轴向运动的同时保持密封圈的密封性能;通过调整微分头可以调整狭缝挡板的位置和狭缝之间的相对位置关系,实现狭缝宽度的调节。本装置实现了真空腔体外部调节真空内部狭缝的位置,实时观测狭缝位置对飞行时间质量分析器性能的影响,弥补加工装配的误差;装置结构简单,调整空间大。
搜索关键词: 用于 飞行 时间 质量 分析器 调试 可调 狭缝 装置
【主权项】:
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