[发明专利]一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法在审
| 申请号： | 202010083822.6 | 申请日： | 2020-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN111158084A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;邓鑫宸;牛梦华;蒋建光;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 浙江大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法，这种方法包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作条形离子掺杂区(4)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。将表面制作有条形离子掺杂区(4)的玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿条形离子掺杂区(4)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿条形离子掺杂区(4)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将条形离子掺杂区(4)变成锥形离子掺杂区(6)。这种锥形离子掺杂区(6)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子交换 玻璃 表面 波导 转换器 制作方法 | ||
【主权项】：
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