[发明专利]过滤器润湿方法和处理液供给装置有效
| 申请号： | 202010084368.6 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN111589218B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 志手英男;安达健二;今村真人;兼竹望;田尻卓也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;B01D19/00;B01D61/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种过滤器的润湿方法，该过滤器设置于处理液供给装置中，用于去除处理液中的杂质，处理液供给装置包括：暂时贮存处理液的暂时贮存部；和将处理液送出到处理液释放部的泵，暂时贮存部由挠性部件分隔为贮存处理液的贮存室和位于贮存室外侧的工作流体室，根据工作流体室内的压力变化来调节贮存室内的压力，从而对贮存室补充处理液或者从该贮存室压送出处理液，该润湿方法包括：脱气步骤，在将暂时贮存部与过滤器之间的管路关闭了的状态下，使暂时贮存部的贮存室内成为负压，对该贮存室内的处理液进行脱气；和使脱气后的处理液即脱气液通过过滤器中的过液步骤。由此，能够在过滤器润湿时防止溶存于处理液的气泡在过滤器内发泡。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 润湿 方法 处理 供给 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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