[发明专利]低电压反熔丝元件

摘要

本发明公开了一种低电压反熔丝元件，其在基底上依序设有第一闸极介电层和第一闸极，并于第一闸极一侧的基底内形成有第一离子掺杂区，其中第一闸极包括本体部与从本体部一侧延伸渐缩的尖角部，且本体部和尖角部皆邻接于第一闸极介电层上；进行操作时，利用电荷于尖角处的密度较高的原理，当写入电压被施加于第一闸极及第一离子掺杂区之间时，使得尖角部下方的第一闸极介电层的一部分易于击穿，以此降低击穿电压，达成降低电流消耗的目的，同时可减少闸极面积，缩小元件尺寸，从而降低生产成本。