[发明专利]一种半导体电浆机在审
| 申请号： | 202010086284.6 | 申请日： | 2020-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111463098A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 凌永康;张勇;何於 | 申请（专利权）人： | 江苏壹度科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电浆机技术领域，具体为一种半导体电浆机，包括电浆机本体，电浆机本体上设有蚀刻仓，电浆机本体的上表面设有真空泵，真空泵的输出端上设有抽气管，蚀刻仓上设有仓门，蚀刻仓内设有中空密封垫，中空密封垫的前表面设有矩形槽，仓门的后表面设有矩形塞。该半导体电浆机，仓门关闭后，利用转轴转动挡块，使得限位柱从弧形槽的一端滑入弧形槽的另一端，限位柱将仓门扣压在蚀刻仓的开口位置，以此实现仓门的关闭，同时，矩形塞通过矩形槽与中空密封垫插接配合，提高仓门与蚀刻仓连接处的密封效果，防止空气中的氧化气体进入蚀刻仓内，提高半导体表面蚀刻的均匀度，解决半导体电浆机密封效果差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 电浆机 | ||
【主权项】：
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