[发明专利]氮化铝层叠构件以及氮化铝层在审
| 申请号： | 202010086408.0 | 申请日： | 2020-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111564541A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 藤仓序章 | 申请（专利权）人： | 赛奥科思有限公司;住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/44;H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长在表面周期性地形成有突出部的AlN层的技术。氮化铝层叠构件具备：蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及氮化铝层，其设置在基底面上，且具有在各个凸部的顶部上方形成有突出部的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 层叠 构件 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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