[发明专利]一种预测晶体热场分布的方法、装置以及设备在审

专利信息
申请号: 202010086848.6 申请日: 2020-02-11
公开(公告)号: CN111400862A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 王雅儒;舒天宇;周敏;刘圆圆;姜兴刚;张红岩 申请(专利权)人: 山东天岳先进材料科技有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06N3/08;G06N3/04
代理公司: 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 代理人: 董延丽
地址: 250100 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请公开了一种预测晶体热场分布的方法,包括:确定晶体温场结构变化的参数值,其中,温场结构为腔体结构,中间内置晶体;将晶体的温场结构变化数据的参数值,输入预先训练的温度分布预测模型,预测出温场结构对应的温度分布;其中,温度分布预测模型包括温场结构参数输入层、全连接层神经网络隐含层、温度分布的预测输出层,温度分布为温场结构腔体内的温度分布。在温场结构发生变化时,本申请实施例可以通过温度分布预测模型预测温场结构对应的温度分布,并使得温场结构对应的温度分布处于监测的状态,一旦温度分布预测模型预测出温场结构对应的温度分布处于非正常范围时,可以发出警示信息,提醒管理人员及时进行处理。
搜索关键词: 一种 预测 晶体 分布 方法 装置 以及 设备
【主权项】:
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