[发明专利]光阻剥离装置及光阻剥离方法在审
| 申请号： | 202010087451.9 | 申请日： | 2020-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111258192A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张月红 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刁文魁 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻剥离装置以及光阻剥离方法，所述光阻剥离装置包括:传送带、储液槽、过滤装置、照明装置、剥离槽以及真空装置，通过在过滤装置的滤芯中添加MOF材料，该材料在在可见光下可以捕捉溶液中的氧气，降低溶液中的溶解氧，进而降低缝隙内外的氧浓度差，缓解因基板剥离光阻所产生铜的掏空现象；进一步的，当达到饱和时，可对其进行加热或者紫外光照，将其吸附的氧气释放出去，进而可循环使用滤芯材料。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 装置 方法 | ||
【主权项】：
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