[发明专利]光刻胶剥离液再生方法在审
| 申请号： | 202010088819.3 | 申请日： | 2020-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN111427243A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 惠州达诚微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 李乃哲 |
| 地址： | 516200 广东省惠州市惠阳区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶剥离液再生方法，包括以下步骤：S1：回收剥离液新液使用后的剥离液废液，将剥离液废液经过蒸馏、加压工序，得出剥离液废液的纯化液体；纯化液体中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物；S2：制备添加剂，添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂；S3：将步骤S1的剥离液废液与添加剂混合，重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本发明对剥离液废液进行加压、蒸馏等处理，得出纯化液体，该纯化液体中所含的物质是剥离液新液中所含有的某些组分，而通过预先制备添加剂，可以在得出纯化液体后直接加入添加剂以及原材料，重新配备剥离液新液，使得剥离液废液得以循环再生，减少资源的浪费以及对环境的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 再生 方法 | ||
【主权项】：
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