[发明专利]基于光干涉的测量系统及方法在审
| 申请号： | 202010089032.9 | 申请日： | 2020-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN113251943A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 侯立信 | 申请（专利权）人： | 三营超精密光电（晋城）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00;G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 刘永辉;薛晓伟 |
| 地址： | 048026 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于光干涉的测量系统，包括：光源，用于发射光源光；检测平台，所述检测平台的一表面固定设置有相互间隔的待测样品和参考样品，所述检测平台用于对所述待测样品和所述参考样品进行同步位移；光引导元件，设置于所述光源光的发射路径上，用于将所述光源光分解为测量光和参考光，并将所述测量光引导至所述待测样品，将所述参考光引导至所述参考样品，经所述待测样品反射的测量光和经所述参考样品反射的参考光合束作为干涉光；以及检测器，用于接收来自所述光引导元件引导的所述干涉光，并根据所述干涉光获取所述待测样品的光学信息。本发明还提供一种基于光干涉的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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