[发明专利]光电检测探头有效
申请号: | 202010090107.5 | 申请日: | 2020-02-13 |
公开(公告)号: | CN111257230B | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 周竞辉;高鹏;张风港;顾伟 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/88;G01N27/20 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 孙宝海;袁礼君 |
地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及光电检测技术领域,提出了一种光电检测探头,包括本体部、面电阻探头、光源发射部以及光源接收部,面电阻探头设置在本体部上;光源发射部设置在本体部上,面电阻探头与光源发射部间隔设置,且均朝向同一方向;光源接收部用于与光源发射部相对设置。本公开的光电检测探头通过将朝向相同的面电阻探头和光源发射部设置在本体部上,可以避免测量过程中进行探头切换,即可以在一个方向上完成对测量基片的面电阻和光学透光率两项指标的获取,从而提高了测量的效率。 | ||
搜索关键词: | 光电 检测 探头 | ||
【主权项】:
暂无信息
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