[发明专利]一种导向机构及抛光设备在审
| 申请号： | 202010092244.2 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111136579A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李洪亮;姚钉丁;沈思情;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/10;B24B53/007;B24B37/30;B24B27/00;B24B55/02;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种导向机构及抛光设备，涉及晶圆片制造技术领域。该导向机构包括底座、轴承以及设置于底座顶部的支撑杆，轴承套接于支撑杆上，导向机构还包括抵接部件，抵接部件固定连接于支撑杆的顶部，并将轴承的内圈夹持固定于抵接部件和底座之间。当将导向机构的底座和轴承外圈分别连接于两个相对旋转部件时，通过导向机构作为两部件间的相对旋转介质，能够实现两个旋转部件的旋转导向，保证两部件的稳定旋转。抛光设备包括导向机构，还包括抛光轮、抛光组件和连接组件。通过将导向机构的底座和轴承外圈分别连接相对旋转的抛光轮和连接组件，实现抛光轮与连接组件的旋转导向，进而保证抛光组件在连接组件的限制下稳定旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导向 机构 抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司，未经上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010092244.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
