[发明专利]一种确定飞秒激光抛光光学元件过程中激光离焦量的方法在审
| 申请号： | 202010095083.2 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111368243A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 吕可鑫;韩雪松 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G06F17/10 | 分类号： | G06F17/10;B23K26/352 |
| 代理公司： | 北京汇众通达知识产权代理事务所(普通合伙) 11622 | 代理人： | 夏鹏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种确定飞秒激光抛光光学元件过程中激光离焦量的方法，属于机械精密制造工程技术领域，一种确定飞秒激光抛光光学元件过程中激光离焦量的方法，包括以下步骤：利用飞秒激光器输出激光波长，聚焦光斑半径并计算出光束的瑞利长度；利用激光器输出脉冲能量聚焦光斑半径，离焦量计算出激光达到材料表面时的能量密度；利用飞秒激光烧蚀率数学模型计算能材料表面的烧蚀深度；由激光烧蚀率数学模型求出不同离焦量下飞秒激光对材料的烧蚀深度；测量出待抛光光学元件表面的平均值，利用波峰和波谷的高度差带入计算，确定最佳的抛光离焦量。可以实现快速高效准确地确定飞秒激光抛光的离焦量，且成本低、效率高、准确率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 激光 抛光 光学 元件 过程 离焦量 方法 | ||
【主权项】：
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