[发明专利]一种光罩载台以及曝光装置有效
| 申请号： | 202010095141.1 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN112835266B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘智龙;权炳仁;李大烨 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明关于一种用于承载一光罩组件的光罩载台以及曝光装置。所述光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上。所述曝光装置包含一光罩载台。所述光罩载台包含一光罩载台基座、一光罩固定件以及一静电产生器。所述光罩固定件位于光罩载台上，用于固定所述光罩组件于所述载台上。所述静电产生器连接于所述光罩组件，用于产生一静电至所述光罩组件。所述静电产生器产生之静电于正电和负电之间交替改变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩载台 以及 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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