[发明专利]一种柔性湿度传感器用镍铬-铝电极图形制备方法在审
| 申请号： | 202010095444.3 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111206245A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 石华平;黎威志;陈德林 | 申请（专利权）人： | 江苏友润微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23F1/02;C23F1/20 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈栋智 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性湿度传感器用镍铬‑铝电极图形制备方法，包括以下步骤：将硅或玻璃衬底彻底清洗干燥；在衬底上沉积一薄层铝；旋涂正性光刻胶并低温烘烤几分钟；光刻胶采用互补的负光刻版曝光以形成引出端和电极图形；显影，然后用磷酸腐蚀暴露出的铝；在丙酮中去除光刻胶，此时衬底上除了电极和引出端图形区外，其他区域都覆盖了铝薄膜；衬底彻底清洗干燥后连续沉积一层镍铬薄膜和铝薄膜，沉积过程中衬底不加温；旋涂正性光刻胶并低温烘烤几分钟；采用正性光刻版图曝光形成引出端图形并显影；用磷酸刻蚀暴露的铝薄膜；衬底在去离子水中彻底清洗后，用丙酮去掉光刻胶，形成镍铬电极图形，本发明工艺简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 湿度 传感 器用 电极 图形 制备 方法 | ||
【主权项】：
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