[发明专利]一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010095481.4 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111200417B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王为标;陆增天;毛宏庆 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有横模抑制功能的声表面波换能器及其制备方法，涉及声表面波器件及其制造领域，该结构包括压电基板以及设置在其上的叉指换能器，叉指换能器包括相对交叉设置的第一叉指电极和第二叉指电极、第一汇流条和第二汇流条，根据叉指换能器的结构还将其划分为叉指区、第一单指区和第二单指区，在叉指区内的相邻叉指电极之间的叉指间隙内开设凹槽，凹槽位于叉指区分别和第一单指区、第二单指区的边缘交界处的叉指区内；通过开设凹槽使得声表面波换能器的叉指区边缘的声速低于叉指区中心的声速，第一单指区和第二单指区的声速高于叉指区中心的声速，从而能够有效抑制声波的横波模式，抑制杂波响应，因此声表面波换能器的性能大幅提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 抑制 功能 表面波 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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