[发明专利]一种在线测量工件表面粗糙度的光学测量系统及方法在审

专利信息
申请号: 202010095593.X 申请日: 2020-02-17
公开(公告)号: CN111336956A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 郭瑞鹏;边栋梁;赵敏;姚敏 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 孟红梅
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种在线测量工件表面粗糙度的光学测量系统及方法,测量系统包括激光器,透明窗模拟系统,采集屏以及数据采集和处理系统。透明窗模拟系统借助透明液体冲开冷却液,在待测工件表面上方冲出一个透明区域,使得测量激光束能够通过冷却液覆盖层到达待测工件表面实现测量。测量方法为:准直激光束通过透明窗模拟系统产生的透明测量区域,以一定角度斜入射到待测工件表面;拍摄位于激光束反射方向上的采集屏上的散射图像,提取出特征参数;利用特征参数和表面粗糙度之间的标定曲线,计算粗糙度数值。本发明通过在工件表面创造出一块透明测量区域,可以实现冷却液加工条件下的工件表面质量的在线检测。
搜索关键词: 一种 在线 测量 工件 表面 粗糙 光学 系统 方法
【主权项】:
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