[发明专利]一种薄膜铂电阻温度传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010095700.9 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111189554A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 褚家宝;王慧峰;杨元才 | 申请（专利权）人： | 上海福宜纳米薄膜技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;C04B41/51 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜铂电阻温度传感器的制造方法，包括在双面抛光的蓝宝石晶片表面制备铂薄膜、均匀化处理、刻蚀、激光调阻、制备氧化铝膜层、裂片、引线焊接、包封玻璃浆料、烧结等步骤；本发明的技术效果在于，采用了薄膜铂电阻温度传感器的制造方法，与传统的陶瓷铂电阻元件和厚膜铂电阻元件相比，采用本技术可以降低生产成本，提高生产效率，减小了产品外形尺寸，测量时的响应时间短，产品的一致性有充分的保障。与国内厂商采用薄膜方法制备的同类薄膜电阻元件相比，采用本技术可以大幅度提高测温范围，阻值精度高，具有更好的长期稳定性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 铂电阻 温度传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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