[发明专利]激光诱导碳基电子元件的柔性转印方法有效
| 申请号： | 202010096514.7 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111278231B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;徐光远;马寅佶 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05K3/10 | 分类号： | H05K3/10;H05K3/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
提供了一种激光诱导碳基电子元件的柔性转印方法，包括以下步骤：准备步骤：在硬质基底上结合牺牲层，在牺牲层上结合光敏聚酰亚胺薄膜；诱导步骤：采用CO |
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| 搜索关键词： | 激光 诱导 电子元件 柔性 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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