[发明专利]一种层状结构的高熵合金薄膜材料的制备方法在审
| 申请号： | 202010097935.1 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111270207A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 任卫;朱楠楠;张永超;杨朝宁;李璐 | 申请（专利权）人： | 西安邮电大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 舒梦来 |
| 地址： | 710121 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种层状结构的高熵合金薄膜的制备方法，包括如下步骤：在高真空条件下，采用高能电子束依次对不同种类的金属蒸发料进行加热处理，使金属蒸发料依次蒸发，然后，依次沉积所蒸发的金属料，重复上述步骤，制备出金属材料周期排列的多层膜，最后在空气中进行800℃退火处理，形成层状结构的高熵合金薄膜；该层状结构的高熵合金薄膜的制备方法相比于传统方法而言，所需工艺设备简单，工艺流程可靠、过程简便，工艺参数可控，关键工序(改变每个沉积层的厚度和沉积元素比例及先后顺序)较易操作；所制备的薄膜成膜质量好，元素成分分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 层状 结构 合金 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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