[发明专利]一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件在审
| 申请号： | 202010098945.7 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111185659A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件，所述扩散焊接方法包括如下步骤：(1)准备钛靶材、带有凹槽的背板和垫圈；(2)将步骤(1)所述钛靶材放入背板的凹槽内，将步骤(1)所述垫圈围在所述钛靶材四周，完成装配处理，然后再将整体放入包套内；(3)将步骤(2)得到的包套封口后进行脱气处理；(4)将步骤(3)脱气后的包套进行热等静压焊接，然后去除包套和所述垫圈，完成所述钛靶材和背板的扩散焊接。所述焊接方法通过加入垫圈有效地改进了钛靶材和背板的装配结构，提高了钛靶材和背板的焊接结合度，经超声波C扫描成像探伤仪检测，钛靶材和背板的焊接结合度在99％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 背板 扩散 焊接 方法 组件 | ||
【主权项】：
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