[发明专利]气体浓度调节系统、方法及装置有效
申请号: | 202010098953.1 | 申请日: | 2020-02-18 |
公开(公告)号: | CN111258344B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 刘昌;陈义强;来萍;肖庆中;高汭 | 申请(专利权)人: | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) |
主分类号: | G05D11/13 | 分类号: | G05D11/13 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 陈金普 |
地址: | 511300 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及一种气体浓度调节系统、方法及装置;其中,气体浓度调节系统,包括密封腔体,用于向密封腔体冲入填充气体、混合气体的配气装置,用于检测密封腔体内目标气体浓度的目标气体检测仪,以及用于测量密封腔体内部压力的气压测量装置;还包括控制装置;控制装置包括控制电路以及连接控制电路的多个气动阀;气压测量装置、目标气体检测仪均连接控制电路;各气动阀分别连接在密封腔体与配气装置之间、密封腔体与目标气体检测仪之间;本申请解决了密封腔体内目标气体浓度的自动调节和精确控制问题。 | ||
搜索关键词: | 气体 浓度 调节 系统 方法 装置 | ||
【主权项】:
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