[发明专利]一种研磨液供给系统有效
| 申请号： | 202010099687.4 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113334245B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 蒋富有;郭鸿翔;古进忠 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02;B24B55/00;B01D35/12 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及半导体加工技术领域，公开了一种研磨液供给系统，包括研磨液配置装置、清洗液供给装置和过滤装置，还包括连通所述研磨液配置装置和过滤装置的供给管路、连通所述清洗液供给装置和所述过滤装置的清洗管路；所述研磨液配置装置用于配置研磨液，并将配置好的研磨液通过所述供给管路输送至所述过滤装置；所述过滤装置用于过滤研磨液，并将过滤后的研磨液输送至与所述过滤装置连通的研磨装置；所述清洗液供给装置用于通过所述清洗管路向所述过滤装置输送清洗液。本发明提供的研磨液供给系统能够在提高过滤装置的清洗效率的同时，确保过滤装置内残留的研磨液不会滴落，提高了研磨液供给系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 供给 系统 | ||
【主权项】：
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