[发明专利]一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法有效
| 申请号： | 202010101582.8 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111302516B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 金炳生 | 申请（专利权）人： | 晶瑞电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;G03F7/42;C02F1/38;C02F1/00;C02F1/28;C02F103/34 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 谢清萍;武玉琴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，包括如下步骤：(1)对光刻胶剥离液废液进行离心分离处理；(2)向经过步骤(1)处理的光刻胶剥离液废液中加入活性炭，以进行脱色处理，脱色处理后，再经过滤得到无色回收液；(3)向无色回收液中加入改性硅藻土，再经压滤，得到光刻胶剥离液可用物；其中，改性硅藻土是采用氢氧化钠溶液和聚醚酰亚胺溶液依次对硅藻土进行改性处理得到；(4)测定光刻胶剥离液可用物中的有用成分含量，并补足所需的光刻胶剥离液有效成分及用量，形成再生光刻胶剥离液。本发明可以对光刻胶剥离液废液中的有用成分进行有效的回收利用，回收效率高，回收效果好，可大大降低废液的排放，具有显著的环境效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 废液 再生 利用 方法 | ||
【主权项】：
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