[发明专利]过滤模块以及蚀刻液再生方法在审
| 申请号： | 202010103920.1 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113274805A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 林士隆 | 申请（专利权）人： | 林士隆 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳欣 |
| 地址： | 中国台湾彰化县花*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请提供一种再生蚀刻液的过滤模块，包含一容室连通一蚀刻工作平台的一蚀刻液管线的输入端与输出端；一电极，安装于容室中，以提供负电；以及一吸附材料，包覆该电极。通过负电的吸引，蚀刻液中的金属离子会更容易的被吸附在金属离子吸附材料上，使得蚀刻液再生效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 模块 以及 蚀刻 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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