[发明专利]一种固晶材料及其封装结构有效
申请号: | 202010104081.5 | 申请日: | 2020-02-20 |
公开(公告)号: | CN111415914B | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 崔成强;杨斌;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/52;H01L23/538;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种固晶材料及封装结构,所述固晶材料包括纳米金属膏薄膜、散热层,所述纳米金属膏薄膜均匀覆盖于散热层的上下两表面的至少一表面;所述散热层为多层石墨烯结构,所述纳米金属膏薄膜包括纳米金属颗粒、抗氧化剂、助焊剂、稳定剂、活性剂;所述纳米金属颗粒含量为50.0wt.%‑95.0wt.%、抗氧化剂含量为5.0wt.%–40.0wt.%wt.%,助焊剂、稳定剂和活性剂总量≤5.0wt.%。本发明具有高散热、厚度均匀的特点,在不影响半导体封装互连模块电气性能前提下,实现低温条件下固晶、互连,且可满足小间距、大功率、高温高压等条件下的使用,可广泛应用于电力电子、IGBT封装、光电子封装、MEMS封装、微电子、大功率LED封装等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 材料 及其 封装 结构 | ||
【主权项】:
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