[发明专利]多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用有效
| 申请号： | 202010104902.5 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111286731B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王体虎;张宝顺;宗冰;任长春;冉胜国;王志权 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C23C12/02;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 覃蛟 |
| 地址： | 810000 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用，该多晶硅还原炉钟罩内壁涂层包括相互连接的银基底层和表面层，表面层为热力学稳定的薄膜，薄膜主要成分为银，且在银中掺杂有碳、氧、铁和硅。该内壁涂层的制备方法为在多晶硅还原炉钟罩的内壁上的银涂层的表面掺杂渗透入碳、氧、铁和硅，以使得银涂层变为银复合涂层。通过银基底层和薄膜构成的表面层共同构成的复合结构的涂层，由于该表面层具有稳定的热力学性质，能够在空气环境或还原炉运行条件下稳定存在，因此，使得该内壁涂层既具有银涂层优异的红外辐射反射性能，又具有很好的稳定性，使得具有该涂层的还原炉能够长期稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 炉钟罩 内壁 涂层 及其 制备 方法 喷涂 装置 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司，未经亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010104902.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
