[发明专利]一种RGB LED集成显示阵列的制备方法有效
| 申请号： | 202010107347.1 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111146316B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 苗振林 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 423038 湖南省郴*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种RGB LED集成显示阵列的制备方法，包括：在衬底上刻蚀出光刻时对版的光刻标记点；依次生长GaN或AlN成核层、非故意掺杂GaN缓冲层和掺Si的n型GaN层；在光刻版中标定区域中分别生长RGB三基色发光波长的三种有源区发光层，得到RGB三基色发光波长的外延层区域；在各个有源区发光层上生长p型GaN层；利用光刻工艺把芯片加工中的透明导电膜制备、芯片台面刻蚀、单胞深槽刻蚀、侧壁钝化和蒸镀欧姆接触电极的光刻版，与上述的光刻版形成的对位标记进行套刻；蒸镀薄膜金属电极材料得到RGB三基色的LED集成显示阵列。本申请可以简化直接得到RGB LED集成显示阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rgb led 集成 显示 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘能华磊光电股份有限公司，未经湘能华磊光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010107347.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
