[发明专利]一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统在审
申请号: | 202010111271.X | 申请日: | 2020-02-24 |
公开(公告)号: | CN111169918A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 朱华;黄旭珍;赵淳生;崔云鹏 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | B65G25/06 | 分类号: | B65G25/06;B65G35/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 韩天宇 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统,包括基座、宏动平台、微动平台和光栅尺位移传感器;宏动平台采用电磁直线电机,定子固定在基座上,动子用于承载微动平台;光栅尺位移传感器的光栅读数头设置在宏动平台的动子上、标尺光栅沿宏动平台动子的运动方向设置在宏动平台的定子上,用于测量宏动平台动子相对于定子的运动位移;微动平台采用压电直线电机,定子固定在宏动平台的动子上,动子用于装载物料;微动平台用于对宏动平台的位移进行补偿。本发明通过宏动平台跟微动平台输出位移的复合,能将搭载于微动平台上的物料送到指定的位置,能补偿宏动平台的速度抖动,具有高速与高精度的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 电磁 复合 驱动 高速 高精度 物料 传输 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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