[发明专利]光罩盒在审
| 申请号： | 202010112027.5 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113296363A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 邱铭隆 | 申请（专利权）人： | 中勤实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;史瞳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光罩盒，包含底座及上盖。底座包括至少周缘以内部分是以石英制成的座体，及多个下支撑组件，每一个下支撑组件的至少部分凸露出于座体上表面。上盖包括至少周缘以内部分是以石英制成的盖体，及多个上支撑组件，每一个上支撑组件的至少部分凸露出于盖体下表面。盖体与座体相配合共同形成封闭空间，且所述上支撑组件与所述下支撑组件共同界定位于封闭空间内的固持位置。通过座体与盖体的至少周缘以内由硬度较高且耐化性佳的石英制成，能够避免盖体与座体开阖过程中因摩擦产生微粒；也不需镀覆保护膜而提高尺寸精度以及制造良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩盒 | ||
【主权项】：
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