[发明专利]一种垂直腔面发射激光器、列阵及制作方法有效
| 申请号： | 202010112798.4 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111293585B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张星 | 申请（专利权）人： | 长春中科长光时空光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/323 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘新雷 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器、阵列以及制作方法，垂直腔面发射激光器制作方法。将泵浦光源插入发射光源谐振腔中，利用GaAs材料实现短波800nm至1100nm的泵浦光发射，泵浦光水平振荡；垂直耦合器结构，具备将泵浦光耦合至垂直表面输出及释放InP缓冲层在GaAs上异质外延过程中的晶格失配应力两个方面的作用，从结构上完全避免了传统的InP基长波长垂直腔面发射激光器面临的DBR反射镜折射率差小、热阻大、缺乏有效的光电限制结构，P型InP层电阻较大、发热严重等问题，提高了器件的性能以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 列阵 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春中科长光时空光电技术有限公司，未经长春中科长光时空光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010112798.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种伺服电机滚动轴承剩余使用寿命预测方法
- 下一篇：汇流排电气隔离组件及电池
