[发明专利]一种支持高温老化测试的气路结构及其操作方法有效
| 申请号： | 202010113640.9 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN110954806B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 杜建;裴敬;邓标华 | 申请（专利权）人： | 武汉精鸿电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于老化测试技术领域，公开了一种支持高温老化测试的气路结构及其操作方法，主路进气管路上设置有第一调压阀，第二气体输入管路上设置有气体电磁阀、单向阀，混合器设置有温度传感器，输出管路上设置有第二调压阀，输出管路连接至老化测试设备的隔热腔。本发明解决了现有技术中半导体芯片高温老化测试中自动测试设备在高温环境的隔热腔内无法快速散热的问题，能够准确控制隔热腔内的自动测试设备快速散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支持 高温 老化 测试 结构 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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