[发明专利]用于校准微纳米坐标测量系统测量误差的标准装置

摘要

本发明公开了用于校准微纳米坐标测量系统测量误差的标准装置，包括底座，底座上分布有标准单元，标准单元选择性的对称设置在半对称拓扑结构或全对称拓扑结构的节点上；全对称拓扑结构由半对称拓扑结构与镜像半对称拓扑结构组成。半对称拓扑结构包括位于同一中轴直线上的中心节点，相邻中心节点之间的拓扑长度均为l；每个中心节点均沿关于中轴直线呈θ夹角的斜直线依次衍生出多级衍生节点；相邻同级衍生节点之间的距离等于相邻中心节点之间的拓扑长度l；每个衍生节点均具有关于中轴直线对称的对称节点。解决现有技术中的标准器不能很好适应微纳米坐标测量系统测量范围跨度大与精度高的特点的技术问题。