[发明专利]一种铝钪合金溅射靶的制备方法及应用有效
| 申请号： | 202010114483.3 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113373414B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 闫建平;柳术平;吴承永;陈卫平;王晓平 | 申请（专利权）人： | 湖南东方钪业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C28/00;C22C30/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;胡凌云 |
| 地址： | 410100 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪合金溅射靶的制备方法及应用，Sc的含量为8at％～53at％，致密度99％，Al、Sc元素的质量百分数之和99.9％，氧含量50ppm，适合用于形成压电性材料薄膜的溅射。根据Sc含量的不同对工艺进行调整，操作简单，氧含量低，致密度高，成分均匀无偏析现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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