[发明专利]一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置在审
| 申请号： | 202010115439.4 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111139447A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 王天邻;谢斌平;陈飞 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，包括：炉源区和样品区；炉源区包括炉源区腔体、蒸发源和炉源区真空泵；蒸发源设置在炉源区腔体内部并固定在炉源区腔体的内壁上；炉源区真空泵连接炉源区腔体；样品区包括样品区腔体、衬底台、样品区真空泵和差分限流通道；衬底台从样品区腔体的上方或者侧面插入样品区腔体内；样品区真空泵设置在样品区腔体内部并固定在样品区腔体的内壁上；差分限流通道设置在炉源区与样品区的连接处；炉源区腔体与样品区腔体之间通过差分限流通道相连。本发明的有益效果：可减少蒸发源附近的真空度随气体的增多而降低而导致镀膜质量下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 差分抽气 系统 实现 超高 真空 装置 | ||
【主权项】：
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