[发明专利]一种旋转银铜靶材及制备方法在审
| 申请号： | 202010118026.1 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111286702A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴健;黄显峰;雷雨;周志宏;沈艳斌;杨永添 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转银铜靶材及其制备方法。该方法包括以下步骤：(1)制备粒径D10≥20μm，D90≤70μm的银铜粉末；(2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；(3)冷喷涂：将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将银铜粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材。本发明的制备工艺简单、操作方便，适合大规模工业生产，所制得的旋转银铜靶材纯度高，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm，氧含量低，晶粒尺寸小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 银铜靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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