[发明专利]微机电系统器件制备保护方法在审
| 申请号： | 202010119464.X | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111252731A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 阮勇;尤政;周元楷 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 樊春燕 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种微机电系统器件制备保护方法，制备黑蜡层时不会涉及有毒、易挥发的溶剂溶解黑蜡，大大减小了黑蜡涂抹工艺中环境污染和人体伤害问题。并且，通过微机电系统器件制备保护方法中温度的调控和温度时间的控制，形成的黑蜡层可以长时间在碱性溶液和酸性溶液中有效保护MEMS结构不被腐蚀，解决了MEMS器件腐蚀工艺的保护环节。同时，通过微机电系统器件制备保护方法提高了MEMS湿法腐蚀工艺的效率，节省了工艺时间，对MEMS器件功能结构进行了保护，保证功能结构在腐蚀过程中的完整，解决了MEMS器件制造工艺中的关键技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 器件 制备 保护 方法 | ||
【主权项】：
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